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孔板流量计附件的安装、使用和维修保养

时间:2013-04-25 17:15来源:自创 作者:ahenghui 点击:
孔板流量计 附件的安装、使用和维修保养,气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围 MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散
孔板流量计附件的安装、使用和维修保养,气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围 
MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
 1、产品安装前应彻底清除管道污物、焊渣等。
   2、各类气、电动调节阀应正立垂直安装。流向按阀体箭头所示。须斜装时除小口径外,如自重较大或有震动,应加支承,入口配管长最好为10-20DN,如有可能,出口配管为3-5DN直管段。气动高温高压疏水阀立式和卧式均可安装。介质为液体的自力式调节阀一般均倒立安装,严禁逆流向安装。
   3、设置旁通管道、遇有故障或维修时可用旁路控制。
   4、手操时应控说明书和手操标牌指示,活塞式执行机构带有窜气阀时应打开窜气阀,恢复自蒸汽流量计动时应将切换手柄置“自动”位置,有窜气阀的应予关闭。液压手操机构的操作请见说明书。电动阀手操时应将手柄拉出。
(责任编辑:admin)
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